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產(chǎn)品分類
Product Category三維形貌儀通過集成一對單點,非接觸式,納米分辨率的彩色共聚焦傳感器與高速,納米編碼的X/Y/Z協(xié)調(diào)運動,QuickPRO-CUBE™捕獲同步的前,后和基準表面3D點云地形,用于托盤中的單鏡頭或微鏡頭的幾何表征。
專為測量旋轉(zhuǎn)對稱樣品的表面形貌和透明薄膜的厚度而設計,如金剛石車削光學表面和模塑或拋光的非球面透鏡
適用于光學、工業(yè)和半導體市場的高速、中精度、經(jīng)濟實惠的表面輪廓儀,納米分辨率彩色共聚焦傳感器(可配制點和線傳感器),為在線過程測量和控制而設計,結構緊湊,易于上下片和操作,可配制成獨立系統(tǒng)(X/Y/Z) 和附加升級至LAS (C/R/Z),多種樣品處理能力
QuickOCT-4D™ 將單點可見光光譜域光學相干斷層掃描 (SD-OCT) 傳感器與高速納米編碼的 X/Y/Z 運動控制平臺相結合,可以在高達 66 kHz 的單次測量中捕獲透明薄膜樣品中每層的平面。QuickOCT-4D™ 穿透深度(高達 100μm)和軸向分辨率 (5nm) 針對半導體、生命科學和制藥行業(yè)的多層透明薄膜、平面基板和功能層的測量進行了優(yōu)化。